반도체 부품

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HDP-CVD DOME REPAIR

VIP Project
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HDP CVD 공정에 사용되는 Dome은 세라믹과 동튜브, 튜브를 고정하는 브라켓, 실리콘 등으로 구성되어 있습니다.
그중에 동튜브는 전기와 열의 전도성이 뛰어나지만 공정 중 안쪽으로 흐르는 냉각수와의 화학 반응성으로 침전물이 쌓이고 부식으로 인한 LEAK 발생 등 타 부품들에 비해 수명이 짧아 Dome 교체 주기를 단축시키는 주요 원인이 됩니다.

당사는 20여년 동안 200~300mm 까지 다양한 제품군의 돔을 Repair한 경험과 기술력을 바탕으로 세라믹 돔을 제외한 실리콘, 동튜브, 동블럭 등 나머지부품들을 Repair할 수 있습니다.
(특허보유 : 고밀도 플라즈마 화학기상증착에 사용되는 세라믹 돔의 재생방법 출원번호 : 10-2019-0096637)

제품 소개 Brochures

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